DTE 라인업
Features
제품 특징
-
인증 기준
모든 모델은 EU CE 인증 기준을 충족합니다.
-
접액부 재질
액체가 닿는 접액부는 PURE Teflon(순수 테플론) 재질로 제작되어, 탁월한 내화학성과 내온성을 자랑하며 청정하고 오염 없는 이송 환경을 제공합니다.
-
내열 온도
펌프는 최고 180°C의 고온 환경에서도 안정적인 가동이 가능합니다.
-
제조 환경
모든 제품은 Class 100 클린룸 환경에서 조립 및 테스트를 완료합니다.
-
제어 시스템 연동
정밀한 전기 제어를 통한 공정 제어 성능 강화
Application
제품 응용
포토레지스트 코팅 장비, 현상기, 세정기, 식각 장비, CMP 장비, 습식 공정 장비
습식 세정 라인, 약액 보충 시스템
화학품 공급, 부식성 약액 이송(강산·강알칼리), 실험실용 화학품 정량 이송
Model
모델
기술 자료
최대 토출량15 LPM
최고 공급 에어 압력0.5 Mpa
1/2"-S300 Type
최대 사용 온도180°C
무게8 KG
성능 곡선도
기술 자료
최대 토출량40 LPM
최고 공급 에어 압력0.5 Mpa
進出口尺寸3/4"-S300 Type
최대 사용 온도180°C
무게19 KG
성능 곡선도
기술 자료
최대 토출량67 LPM
최고 공급 에어 압력0.5 Mpa
進出口尺寸1"-S300 Type
최대 사용 온도180°C
무게35 KG
성능 곡선도
Attributes
제품 설계 특징
다공형 마운팅 베이스
다공형 구조를 적용하여 시중 주요 브랜드 제품을 대체 적용할 수 있으며, 펌프를 장비에 빠르게 장착할 수 있어 작업 효율을 높입니다.
일체형 입·출구
입·출구에 전용 S300 피팅을 적용하여 화학 약액의 누출 위험을 줄이고 안전한 이송을 지원합니다."
본체 홈 구조
본체와 벨로우즈에 나사 체결 및 홈 씰링 구조를 적용하여, 압력이나 고온으로 인한 부품 분리 문제를 줄이고 내구성과 안정성을 높였습니다."
고밀도 PTFE 벨로우즈
Daikin M112 고순도·고밀도 PTFE를 정밀 가공하여 제작했으며 연성, 내마모성, 내식성이 뛰어나 장기적인 서비스 수명을 보장합니다."
Accessories
액세서리
맥동 흡수기
펌프 운전 중 발생하는 주기적인 압력 변동을 흡수하여 공정 안정성을 확보하고, 압력 변화로 인해 배관에 가해지는 충격과 손상을 완화합니다.
