DTE 系列
Features
产品特点
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每种机型皆有欧盟标准CE认证。
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接液部采由高密度铁氟龙制成，高强度的耐化性与耐温，洁净无污染。
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泵浦耐温最高可达180℃
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于无尘室Class 100 环境下完成组装测试。
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可搭配控制系统，精准定量输出。
Application
产品应用
光阻涂布设备、 显影机、清洗机、蚀刻设备、CMP 设备、 湿制程设备 湿制程清洗线、药液补充系统 湿制程清洗线、药液补充系统
湿制程清洗线、药液补充系统
化学品供给、腐蚀性药液移送(强酸、强碱)、实验室化学品定量移送
Model
型号
技术资料
最大流量15 LPM
最大气源压力0.5 Mpa
進出口尺寸1/2"-S300 Type
最大耐溫180°C
重量8 KG
性能曲线图
技术资料
最大流量40 LPM
最大氣源壓力0.5 Mpa
進出口尺寸3/4"-S300 Type
最大耐溫180°C
重量19 KG
性能曲线图
技术资料
最大流量67 LPM
最大氣源壓力0.5 Mpa
進出口尺寸1"-S300 Type
最大耐溫180°C
重量35 KG
性能曲线图
Attributes
产品设计特点
多孔式脚座
采用多孔式结构，可取代市场主流品牌，泵浦可快速安装上机，提升作业效率。
一体型出入口
出入口搭配专用S300 Fitting，有效降低化学液体外漏风险，确保输送安全。
主体沟槽
本体与Bellows采用牙式固定与沟槽式密封设计，大幅降低因压力或高温造成的零件分离问题，提升耐用性与稳定性。
高密度PTFE BELLOWS
采用Daikin M112 高纯度、高密度的 PTFE，精密加工而成，具优异的延展性、耐磨性与耐腐蚀性，确保长效使用寿命
Accessories
配件
脉冲吸收器
吸收泵浦运转时所产生的周期性压力波动，确保制程的稳定性，同时减缓因压力变动对管路造成的冲击与损害。
快速排气阀
透过优化排气流道设计，降低风囊作动的动态阻力，进而提升泵浦作动行程的稳定性。