DT 系列
Features
产品特点
-
每种机型皆有欧盟标准CE认证。
-
全机无金属、无油使用设计、无须润滑及保养。
-
接液部皆由高密度铁氟龙制成，高强度的耐化学性与耐温，洁净无污染。
-
泵浦耐温最高可达200℃
-
于无尘室Class 100等级下完成组装测试及包装。
Application
产品应用
光阻涂布设备、 显影机、清洗机、蚀刻设备、CMP 设备、 湿制程设备
湿制程清洗线、药液补充系统
化学品供给、腐蚀性药液移送（强酸、强碱）、 实验室化学品定量移送
PCB产业: 药水供液系统、蚀刻机、清洗线
Model
型号
技术资料
最大流量21.6 LPM
最大氣源壓力7 KG
進出口尺寸3/8”, NPT
最大耐溫100℃ (DT-20)
200℃ (DT-20F)
200℃ (DT-20F)
重量8 KG (DT-20)
10 KG (DT-20F)
10 KG (DT-20F)
性能曲线图
技术资料
最大流量48 LPM
最大氣源壓力7 KG
進出口尺寸1/2”, NPT
最大耐溫100℃ (DT-50)
200℃ (DT-50F)
200℃ (DT-50F)
重量11 KG (DT-50)
14 KG (DT-50F)
14 KG (DT-50F)
性能曲线图
技术资料
最大流量81 LPM
最大氣源壓力7 KG
進出口尺寸3/4", NPT
最大耐溫100℃ (DT-80)
200℃ (DT-80F)
200℃ (DT-80F)
重量16 KG (DT-80)
20.5
20.5
性能曲线图
技术资料
最大流量110 LPM
最大氣源壓力7 KG
進出口尺寸1", NPT
最大耐溫100℃ (DT-100)
200℃
200℃
重量21 KG (DT-100)
27 KG (DT-100F)
27 KG (DT-100F)
性能曲线图
Attributes
产品设计特点
气阀组
由无任何金属零件组成，零污染风险，且气密佳、低耗气量特点使泵浦更有效率作动。
陶瓷气阀杆
高密度陶瓷无热胀冷缩的问题，确保泵浦精准稳定的运转。
弹簧式逆止阀
内凹槽式设计，以”面”做接触，密合度佳，自吸能力表现较佳。
高密度PTFE BELLOWS
采用Daikin M112 高纯度、高密度铁氟龙，精密加工而成，具优异的延展性、耐磨性与耐腐蚀性，确保长效使用寿命。
Accessories
配件
脉冲吸收器
吸收泵浦运转时所产生的周期性压力波动，确保制程的稳定性，同时减缓因压力变动对管路造成的冲击与损害。
计数器
可与控制器做连接，显示泵浦作动次数且搭配自动化系统控制泵浦运作。
测漏感测器
当因Bellows 损坏破裂造成液体进入气室，感测器会及时发送讯号给控制机台，停止泵浦运作。