DT 系列
Features
產品特點
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每種機型皆有歐盟標準CE認證。
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全機無金屬、無油使用設計、無須潤滑及保養。
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接液部皆由高密度鐵氟龍製成，高強度的耐化學性與耐溫，潔淨無汙染。
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泵浦耐溫最高可達200℃。
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於無塵室Class 100等級下完成組裝測試及包裝。
Application
產品應用
光阻塗佈設備、 顯影機、清洗機、蝕刻設備、CMP 設備、 濕製程設備
濕製程清洗線、藥液補充系統
化學品供給、腐蝕性藥液移送（強酸、強鹼）、 實驗室化學品定量移送
PCB產業: 藥水供液系統、蝕刻機、清洗線
Model
型號
技術資料
最大流量21.6 LPM
最大氣源壓力7 KG
進出口尺寸3/8”, NPT
最大耐溫100℃ (DT-20)
200℃ (DT-20F)
200℃ (DT-20F)
重量8 KG (DT-20)
10 KG (DT-20F)
10 KG (DT-20F)
性能曲線圖
技術資料
最大流量48 LPM
最大氣源壓力7 KG
進出口尺寸1/2”, NPT
最大耐溫100℃ (DT-50)
200℃ (DT-50F)
200℃ (DT-50F)
重量11 KG (DT-50)
14 KG (DT-50F)
14 KG (DT-50F)
性能曲線圖
技術資料
最大流量81 LPM
最大氣源壓力7 KG
進出口尺寸3/4", NPT
最大耐溫100℃ (DT-80)
200℃ (DT-80F)
200℃ (DT-80F)
重量16 KG (DT-80)
20.5
20.5
性能曲線圖
技術資料
最大流量110 LPM
最大氣源壓力7 KG
進出口尺寸1", NPT
最大耐溫100℃ (DT-100)
200℃
200℃
重量21 KG (DT-100)
27 KG (DT-100F)
27 KG (DT-100F)
性能曲線圖
Attributes
產品設計特點
氣閥組
由無任何金屬零件組成，零汙染風險且氣密佳、低耗氣量特點使泵浦更有效率作動。
陶瓷氣閥桿
高密度陶瓷無熱脹冷縮的問題，確保泵浦精準穩定的運轉。
彈簧式逆止閥
內凹槽式設計，以＂面＂做接觸，密合度佳，自吸能力表現較佳。
PTFE BELLOWS
採用Daikin M112高純度、高密度鐵氟龍，精密加工而成，具優異的延展性、耐磨性與耐腐蝕性，確保長效使用壽命。
Accessories
配件
脈衝吸收器
吸收泵浦運轉時所產生的週期性壓力波動，確保製程的穩定性，同時減緩因壓力變動對管路造成的衝擊與損害。
計數器
可與控制器做連接，顯示泵浦作動次數且搭配自動化系統控制泵浦運作。
測漏感測器
當因Bellows 損壞破裂造成液體進入氣室，感測器會及時發送訊號給控制機台，停止泵浦運作。