DTE 系列
Features
產品特點
-
每種機型皆有歐盟標準CE認證。
-
接液部採由高密度鐵氟龍製成，高強度的耐化性與耐溫，潔淨無汙染。
-
泵浦耐溫最高可達180℃。
-
於無塵室Class 100 環境下完成組裝測試。
-
電控式精準驅動，強化制程控制能力。
Application
產品應用
程光阻塗佈設備、 顯影機、清洗機、蝕刻設備、CMP 設備、 濕製程設備
濕製程清洗線、藥液補充系統
化學品供給、腐蝕性藥液移送(強酸、強鹼)、實驗室化學品定量移送
Model
型號
技術資料
最大流量15 LPM
最大氣源壓力0.5 Mpa
接口尺寸1/2"-S300 Type
最大耐溫180°C
重量8 KG
性能曲線圖
技術資料
最大流量40 LPM
最大氣源壓力0.5 Mpa
進出口尺寸3/4"-S300 Type
最大耐溫180°C
重量19 KG
性能曲線圖
技術資料
最大流量67 LPM
最大氣源壓力0.5 Mpa
進出口尺寸1"-S300 Type
最大耐溫180°C
重量35 KG
性能曲線圖
Attributes
產品設計特點
多孔式腳座
採用多孔式結構，可取代市場主流品牌，泵浦可快速安裝上機，提升作業效率。
一體型出入口
出入口組配專用S300 Fitting，有效降低化學藥體外漏風險，確保輸送安全。
主體溝槽
本體與Bellows採用牙式固定與溝槽式密封設計，大幅降低因壓力或高溫造成的零件分離問題，提升耐用性與穩定性。
高密度PTFE BELLOWS
採用Daikin M312高純度、高密度PTFE，精密加工而成，具優異的延展性、耐磨性與耐腐蝕性，確保長效使用壽命。
Accessories
配件
脈衝吸收器
吸收泵浦運轉時所產生的週期性壓力波動，確保製程的穩定性，同時減緩因壓力變動對管路造成的衝擊與損害。
快速排氣閥
透過優化排氣流道設計，降低風囊作動的動態阻力，進而提升泵浦作動行程的穩定性。